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SMC 电气比例阀 E-P HYREG VY1
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SMC 电气比例阀 E-P HYREG VY1
SMC VY1 系列 E-P HYREG 电气比例阀为高精度电子调压阀,通过电气信号实现精密压力调节,适用于半导体制造等高精度工艺。
高精度调压:
电子调压方式,压力控制精度高
E-P HYREG:
电气-气动混合调节,稳定性优异
半导体适用:
满足半导体制造等高精度工艺要求
模拟/数字接口:
支持多种电气信号输入方式
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产品详情
SMC 电气比例阀 E-P HYREG VY1
通过电信号无级控制压力。
气缸的推力控制。
喷嘴的风量控制。
气罐的压力控制。
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