SMC 高纯度工艺气体用 AP

  • 用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
  • 可作为气体的切断阀使用。
  • 接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。